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EK 200 x 200
Verfahrensbereich: 205x205 mm
Gewicht: 7400 g
Belastbarkeit: 5 kg
Manueller Kreuztisch mit Verfahrbereich 205 x 205 mm. Zusätzlich zur genauen Feinpositionierung ist der Tisch auch mit einer patentierten Schnellverstellung versehen, sodaß sowohl schnelles Verschieben als auch eine genaue Positionierung möglich sind.
Es stehen drehbare Waferhalter 6"+8", sowie drehbare Vakuumwaferhalter zur Verfügung.
Serienmäßig ist der Tisch mit einer Metalleinlegeplatte ausgestattet, die auf Wunsch durch eine Glasplatte ersetzt werden kann.
Der benötigte Freiraum (Mikroskopstativ-optische Achse) beträgt 265 mm
Die maximale Belastung beträgt 5 KG
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Preis auf Anfrage
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© Optische Systeme Jülich GmbH, Bonn
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